精密光学コーティング業界がオイルフリーコンプレッサーを選択する方法
精密光学コーティング業界の背景
2023年のマーケットウォッチレポートによると、世界の高精度光学コーティング市場規模は2028年までに47.2億ドルに達すると予想されており、そのうちLi DARレンズ用硬質コーティングの需要は年率15.6%の成長率を記録しています。光学部品の表面清浄度に関するISO 10110-7：2017規格によると、コーティングキャビティ内の圧縮空気は、NAS 1638クラス3粒子制御クラス（>15μm粒子≤3/ml）を満たす必要があります。米国SEMI F 60 – 0 3 0 8仕様では、真空コーティング装置の補助ガス源システムは、従来の油圧圧縮機に技術的な排除圧力をもたらす炭化水素の浸透ゼロを達成する必要があります。
オイルフリー圧縮技術の必要性
精密光学コーティングプロセス、特にイオンビームアシスト堆積（IBAD）プロセスでは、圧縮空気に対する品質要求が非常に高い。ISO 85 7 3 -2クラス1規格によると、圧縮空気の露点温度は-70 ° C未満であり、総揮発性有機化合物（TVOC）は1μg/m3未満である必要があります。さらに、ドイツのクリーンルーム規格VDI 208 3 -4.1では、コーティングキャリアガス中のオイルミスト濃度が0.0 01 mg/m3を超えると、膜層の密着性が23%低下すると規定されています。日本のJEITA EIAJ ET-74 0 7規格によると、リソグラフィグレードのコーティング装置はISO 85 7 3 -1クラス0に準拠した完全密閉ガス源システムを装備する必要があります。
主要な性能パラメータと認証システム
- 油の絶対制御圧縮空気システムはISO 85 7 3 -1クラス0認証を取得し、ISO 85 7 3 -5赤外分光法を使用して0.0 01 mg/m3未満のオイル検出限界が必要です。
- 超低露出保証圧縮空気の露点圧力は、ISO 85 7 3 -2クラス1規格に準拠した-70 ° C未満で安定している必要があります。
- ナノスケールのろ過ISO 16890（2016 ePM1≤ 95%）の要件を満たすU 15グレードの精密フィルターを装備しています。
- 材料の放出制御ランナーアセンブリは、総質量損失が1.0%を超えないようにASTM E 595 – 0 7熱真空放出試験に合格する必要があります。
技術プログラムの比較分析
| 次元の比較 | オイルフリーコンプレッサーソリューション | オイルコンプレッサーソリューション |
|---|---|---|
| 油汚染のリスク | 0mg/m3（T Ü V ISO 85 7 3 -1クラス0認定） | 0.0 1 ~ 0.1 mg/m3（触媒酸化装置の追加構成が必要） |
| 露点安定性 | ±1 ° C変動（ISO 85 7 3 -2クラス1に準拠） | ±5℃変動（潤滑油蒸気圧の影響） |
| 稼働時のエネルギー消費 | 比出力4.8 kW/m 3/分（ISO 1217 2009 Annex C効率レベル1） | 比出力6.3 kW/m 3/min（省3） |
| パーティクル制御能力 | 内蔵レベル3ナノろ過システム（ISO 85 7 3 -1クラス0に準拠） | 外部フィルタに依存する（最大0.5 barの初期差圧損失） |
| システムの互換性 | パーフルオロエーテルゴムシール（NASA ASTM E 595放電試験に合格） | ニトリルゴムシール（可塑剤汚染物質を放出する可能性があります） |
まとめまとめまとめ
精密光学コーティングの分野では、ISO 10110とSEMI F 60の二重規格認証に準拠した圧縮空気システムが、コーティング歩留まりの中核的な保証となっています。上海グランクリングループが開発した磁気浮上オイルフリースクリューユニットは、0.0 0 05 mg/m3の油分含有量（SGS ISO 85 7 3 -1クラス0認証）と統合膜乾燥モジュール（ISO 85 7 3 -2クラス1に準拠）を備え、VDI 2083規格で定義されているナノスケールのエアロゾル汚染を効果的に除去します。この技術ソリューションは、従来のシステムと比較して高調波歪みを42%低減し（IEC 610 00 -3-12電磁両立性規格に準拠）、サブナノメートル光学コーティングのための原子レベルでクリーンなガス源を保証します。