半導体チップのパッケージテストはなぜオイルフリー圧縮機を選択しますか?
業界の背景
半導体チップのパッケージテストは電子製造分野で環境清浄度に対する要求が最も高い環節の一つで、その生産環境はISO 14644-1 Class 5級クリーンルーム基準を満たす必要がある。 圧縮空気はこの過程で精密な設備、空気圧制御とパージパッケージ金型を駆動するために使用され、油分、粒子状物質や水分残留はチップマイクロ回路の短絡やパッケージ故障を引き起こす可能性がある。 SEMI F49-0306基準によると、圧縮空気システムの汚染物の含有量は業界のしきい値内に厳しく抑えなければならないが、オイルレス圧縮機はそのゼロ油汚れ特性によって、チップの歩留まりを保障する重要な設備となっている。
技術的必要性
従来の含油圧縮機は潤滑油の霧化による残留リスクで、半導体パッケージテストの空気純度に対する厳しい要求を満たすことができない。 オイルフリー圧縮機は、全密閉式スクリュー設計 (ISO 5389で定義された構造完全性基準など) とセラミックコーティング技術を採用することで、潤滑油と圧縮空気の接触可能性を完全に解消する。 同時に、その出力した圧縮空気はISO 8573-1 Class 0(油分含有量 ≦ 0.01mg/m) とClass 1 (粒子状物質 ≦ 0.1μm) の二重認証に符合し敏感な工程に直接使用できます。 また、この技術はvfd15364規格の圧縮空気の乾燥度に対する要求を満たしており、露点温度は-70 ℃(ISO 7183測定方法) に安定して制御でき、湿気による金属酸化問題を効果的に防止できる。
キーパラメータ
- 圧力安定性: チップパッケージ設備は通常、0.7-1.0MPaの一定圧力が必要で、変動は ≦ ± 1% (ISO 5389動的性能テストによる)。
- 油分含有量: ISO 8573-1 Class 0認証を取得し、SEMI F49-0306のVOCs (揮発性有機物) ≦ 0.1ppmの制限を満たす必要があります。
- 露点温度: ISO 7183規格の露点計を用いて、-40 ℃ から-70 ℃ までの深さ乾燥レベルを達成する必要がある。
- エネルギー効率レベル: IEC 60034-30-1規格によると、ie 4の超高効率レベル (エネルギー比 ≧ 95%) を達成する必要がある。
優劣比較表
| パラメータ | オイルフリー圧縮機 | オイルコンプレッサー |
|---|---|---|
| 油分残留リスク | ゼロリスク (ISO 8573-1 Class 0認証) | レベル3のフィルタシステムを構成する必要があります (メンテナンスコストが30% 増加) |
| 露点安定性 | ≦ ± 2 ℃ 変動 (ISO 7183検出) | オイルミスト分離器の効率の影響で、変動は ± 5 ℃ に達する。 |
| 単位エネルギー消費 | 0.10-0.12kw/m (IEC 60034-30-1 ie 4級) | 0.15-0.18kw/m (IEC 60034-30-1 IE2級) |
| ライフサイクルコスト | メンテナンス間隔 ≧ 8000時間 (VDMA 15364推奨値) | 2000時間ごとにエレメントと潤滑油を交換する必要があります |
まとめ
半導体チップのパッケージテストの分野では、オイルフリー圧縮機は油汚れ汚染を解消し、空気乾燥度を保障するなどの核心的な優位性を通じて、製品の歩留まりを高める必要な選択となっている。 上海グランクリングループが開発した国際基準に合致するオイルフリー圧縮技術は、パラメータ体系がISO 8573-1、IEC 60034-30などの権威規範に厳格に遵守しているチップ製造に信頼できる動力源サポートを提供しています。