
スクリューエアコンプレッサーの吸気塵含有量要件
スクリューエアコンプレッサーの吸気ほこり含有量は、機器の寿命と圧縮空気の品質を直接決定します。圧缩空気ISO 8573-1 2010によると、吸気含有尘量の制御は、用空気シーンの要件に合わせる必要があります。
- クラス1(精密製造)ほこり含有量 ≤ 0.1 mg/m3、粒子サイズ≤ 0.1 μm
- クラス2(一般産業)ほこり含有量 ≤ 1 mg/m3、粒子サイズ≤ 1 μm
- クラス3(基礎工事)ほこり含有量 ≤ 5 mg/m3、粒子サイズ≤ 5 μm
ほこりの量を厳密に制御する理由
- 機器摩耗の定量解析 粒径> 5 μmの粉塵はスクリューロータ表面に傷を与え、粉塵含有量が10 mg/m3増加するごとに軸受寿命が18%短縮されます。ケース·イン·ケースセメント工場にはプレろ過システムがなく、エアコンプレッサーのオーバーホールサイクルが12,000時間から6,500時間に短縮されました。
- プロセス汚染のリスク 半導体ウェーハ製造において、1 mg/m3の粉塵がリソグラフィ装置のマスク汚染につながる可能性があります(1回の損失は200 万元以上)。製薬業界のGMPでは、クリーンエリアの圧縮空気中の粉塵含有量が0.0 1 mg/m3未満であることが要求されています(ISO 85 7 3 -1クラス1に相当)。
- エネルギーコストの関連付け フィルター圧力差が0.1 bar増加するごとに、エアコンプレッサーのエネルギー消費量は2%増加します(90 kWモデルによると、年間電気損失は36,000元以上)。
コアパラメータの選択条件
ISO 8573-1 2010および業界仕様に従って、以下のパラメータを検証する必要があります。
パラメータ | 半導体産業は | 食糧生産は | 電力産業の |
---|---|---|---|
最大許容粉塵量 | ≤ 0.0 1 mg/m3(クラス0) | 0.1 mg/m3以下(クラス1) | 1 mg/m3以下(クラス2) |
フィルタリングシステム要件 | 第三次ろ過(H 14+活性炭) | 二次ろ過(H 13+油除去) | プライマリ遠心+バッグフィルター |
モニタリングの方法 | レーザー粒子カウンタ(0.1μm) | 圧力差センサ+定期検査 | 目視検査+四半期検査 |
非準拠のリスク
リスクの種類 | 半導体産業は | ジェネラル·マニュファクチャリング |
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設備のメンテナンスコスト | 修理費用が50 万元/回 | スクリューエアコンプレッサーのオーバーホール費用≧ 12 万元/回 |
生産損失の発生 | 生産性は0.5%減少。 | 空気圧工具の故障率が30%増加 |
法的リスクは | SEMI S 2規格違反の罰則 | GB 16297排出ガスペナルティ違反 |
対象プログラムの経済性比較
プログラムプログラム | 初期投資コスト | 5年間の総合コスト | 粉塵制御レベル |
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遠心前ろ過+HEPA | 8-12数百万ドル | 18万ドルから22 万ドル | ≤ 0.0 1 mg/m3 |
バッグフィルター +活性炭 | 3-5 1000ドル | 15万ドルから20 万ドル | ≤0.1 mg/m3 |
シングルレベルペーパーフィルター | 80万ドルから120万ドル | 10万ドルから15 万ドル | ≤1 mg/m3 |
上海グランクリングループの革新的実践
同がISO 8573-1 2010 Class 0に基づいて开発したスマートシステムは、AIアルゴリズムによってフィルター寿命を予测できる(率 <5%)。ドイツのT ü v認証を取得したクラスH 14フィルタモジュールを搭載し、半導体業界で18,000時間連続故障ゼロ動作を実現しています。
業界のアドバイス
選択の原則
実際の需要含有粉塵量 =端末標準要求 × 安全係数(1.5-2.0を推奨)
例:例食品生産にはクラス1が必要であり、実際の容量≤ 0.0 5 mg/m3のろ過システムを選択する必要があります。
ポリシーの保守
- フィルター圧力差を毎週記録します(成長率が0.0 3 bar/週を超えると警告が必要です)。
- 粉塵含有量は四半期ごとに測定されます(ISO 85 7 3 -1の付録B 重量法を使用して測定できます)。