精密光学コーティングオイルフリー潤滑空気圧縮機の選択方法

精密光学コーティングの背景

精密光学コーティングは、反射防止膜やフィルター膜などのナノスケールコーティングの成膜プロセスを含むハイエンド光学デバイスのコア技術です。圧縮空気純度基準に基づく ISO 8573-1 2010圧縮空気の油含有量は0.0 01 mg/m3未満、粉塵含有量は0.0 1 μm以下、露点温度は-70 ° C（PDP）で安定している必要があります。圧縮空気が過剰な油や粒子状物質を超えると、ピンホール、フィルム表面の屈折率の不均一化、さらにはバッチ光学性能の故障を引き起こす可能性があります。オイルフリー潤滑空気圧縮機完全密閉オイルフリー技術により、ドイツのT ü vクラス“0”オイルフリー認証に必要な機器となります。

精密光学コーティングがオイルフリー潤滑エアコンプレッサーを必要とする理由

1. 光学性能の保証油分汚染により、フィルムの透過率が0.5 ~ 1.2%低下する（ISO 9211-4光学フィルムの標準許容差を超える）。
2. プロセスの安定性真空コーティングキャビティは、空気圧変動≤± 0.2%が必要です（品質マネジメントシステム認証証明書が必要です）。
3. 清潔度の規制SEMI S 2/S 8規格は、クリーンルーム圧縮空気の粉塵含有量≤クラス1を規定しています。
4. 機器の互換性マグネトロンスパッタリングプロセスでは、露点温度≤-60 ° Cが必要です（環境マネジメントシステム認証証明書の検証が必要）。

例えば、上海グランクリングループのオイルフリー潤滑空気圧縮機は、国際規格に準拠したオイルフリー圧縮技術を採用しており、システムの無公害と重金属含有量の証明により、クラス10クリーンワークショップでの運転をサポートしています。

精密光学コーティングコアパラメータの選択

ベースはISO 8573-1 2010クラス0と、SEMI F 47標準。次のパラメータを検証する必要があります。

• 油分含有量<0.0 01 mg/m3（ドイツのT ü vグレード“0”オイルフリー認証が必要）。
• 露点制御：-70 ° C（PDP）±1 ° C（労働安全衛生マネジメントシステム認証が必要）。
• 圧力安定性。± 0.2%（製品品質安全認証証明書の検証が必要）。
• 振動のレベル≤1.8mm/s（ISO 10816-3機械振動規格に準拠）。

多段ろ過とインテリジェント温度制御システムを介してオイルフリー潤滑空気圧縮機は、EU CE認証と組み合わせて、真空コーティングプロセスにおけるガス源の安定性を確保します。

オイルフリー潤滑空気圧縮機を使用しないリスク

従来のオイル潤滑装置を使用すると、以下のことが起こります。

• 歩留まりの損失：オイルミストの結露はフィルムの密着性を低下させ、バッチ廃棄率を8% -15%増加させた。
• 機器の汚染真空ポンプの内壁に炭化油が堆積し、メンテナンスコストが200%増加します。
• 認定の無効化IEC 61215太陽電池モジュール認証は、光学性能の基準外のため取り消されました。
• 法的紛争の原因AR/VRレンズメーカーはグレア問題で消費者集団訴訟に直面している。

比較することでISO 8573-1 2010標準および従来の機器パラメータ（油含有量≥ 0.0 1 mg/m3）は、オイルフリー潤滑技術の必要性を明確にすることができます。

オイルフリー潤滑空気圧縮機の経済的利益

• コーティングコストの削減クリーンなガス源は、ターゲットの利用率を12% -18%増加させ、年間50万元以上の材料コストを節約します。
• 機器の寿命延長オイルフリー設計により、真空ポンプのメンテナンスサイクルを3 ヶ月から24 ヶ月に延長します。
• エネルギー消費の最適化等エントロピー効率は92%に向上し、年間25万元以上（150kWモデル）の電気代を節約しました。
• 市場の競争力JEDEC JESD625光学デバイスの信頼性規格に準拠し、顧客受注は30%増加しました。

精密光学コーティングにおけるオイルフリー潤滑空気圧縮機と従来機の比較

まとめまとめまとめ

オイルフリー潤滑空気圧縮機の精密光学コーティングは、光学性能とプロセス安定性を確保するためのコア決定です。厳格な遵守によりISO 8573-1 2010ドイツのT ü vレベル“0”認証により、コーティング欠陥率を低減し、製品の競争力を向上させます。上海グランクリングループなどの大手メーカーが革新的な技術で産業のアップグレードを推進し、グローバル光学企業にコンプライアンスを提供SEMIの基準クリーンな圧縮空気ソリューション